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產(chǎn)品展示

當(dāng)前位置：首頁(yè)產(chǎn)品展示科學(xué)儀器系列半導(dǎo)體氣體中的痕量雜質(zhì)分析系統(tǒng)

半導(dǎo)體氣體中的痕量雜質(zhì)分析系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步以及半導(dǎo)體激光器在通信、信息處理等領(lǐng)域的應(yīng)用日益活躍，制造過(guò)程中使用的特種氣體種類(lèi)和數(shù)量不斷增加。本系統(tǒng)采用氣相色譜法，可自動(dòng)檢測(cè)半導(dǎo)體材料氣體中痕量雜質(zhì)及組分含量。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-11-27

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

訪(fǎng) 問(wèn) 量 ：62

服務(wù)熱線(xiàn)

021-61434006

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產(chǎn)品介紹

可測(cè)量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。

通過(guò)高性能氣相色譜儀可實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)檢測(cè)（操作簡(jiǎn)便）。

可檢測(cè)氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓?/span>N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質(zhì)。


可測(cè)量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。

通過(guò)高性能氣相色譜儀可實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)檢測(cè)（操作簡(jiǎn)便）。

可檢測(cè)氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓?/span>N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質(zhì)。


可測(cè)量鍺烷（GeH）、磷化氫（PH）、砷烷（AsH）、二氯硅烷（DCS） 、三氯硅烷（TCS）等半導(dǎo)體氣體中的雜質(zhì)成分。

通過(guò)高性能氣相色譜儀可實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)檢測(cè)（操作簡(jiǎn)便）。

可檢測(cè)氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮?dú)猓?/span>N2）、甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、C2組分、C3組分等雜質(zhì)。






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